技術(shù)參數(shù)：

　儀器測量精度：≤(3+L/200)μm

　操作方式：全自動控制手柄操作

　三軸控制系統(tǒng)：德國布魯克直流精密伺服電機驅(qū)動(帶抱閘)

　光柵尺：SOPIN貼片式光柵尺，分辨率0.5μm

　放大倍率：光學(xué)放大倍率0.7X-4.5X、影像放大倍率20-180X(可定制)

　成像系統(tǒng)：海康威視千兆網(wǎng)高速光纖數(shù)字相機(不需要搭載視頻圖像卡更清晰)

　鏡頭：普密斯6.5:1自動變倍鏡頭

　導(dǎo)軌：中國臺灣HIWIN精密級平行交叉導(dǎo)軌

　X/Y/Z軸傳動：中國臺灣HIWIN研磨級滾珠絲杠

　量測行程：600*500*180mm、800*600*180mm、1000*800*180mm、1200*1000*180mm、1500*1000*180mm

技術(shù)趨勢與創(chuàng)新方向

　智能化升級

　AI賦能：通過深度學(xué)習(xí)算法自動識別缺陷類型（如劃痕、毛刺），提升檢測效率。

　物聯(lián)網(wǎng)集成：與MES系統(tǒng)對接，實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時上傳與生產(chǎn)流程聯(lián)動。

　復(fù)合測量技術(shù)

　影像+激光：結(jié)合激光傳感器實現(xiàn)三維形貌測量，擴展應(yīng)用場景（如曲面檢測）。

　影像+探針：支持接觸式測量，提升復(fù)雜結(jié)構(gòu)（如深孔、盲槽）的檢測精度。

　定制化解決方案

　行業(yè)專屬配置：針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)超凈間兼容機型，滿足無塵環(huán)境需求。

　模塊化設(shè)計：支持光源、鏡頭、軟件功能的快速更換，適應(yīng)多品種、小批量生產(chǎn)模式。

產(chǎn)品特點：

　◆移動橋式結(jié)構(gòu)，大行程全自動測量，四軸CNC控制。

　◆精密花崗巖機臺，精度高、穩(wěn)定性好。

　◆全鼠標(biāo)、手柄式的自動化控制，簡單易用。

　◆自動變倍光學(xué)鏡頭，可實現(xiàn)變倍測量。

　◆可程控5環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源。

　◆ZONSON2D全自動影像測量軟件。

　◆提供多種規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)配置,并可根據(jù)要求進行個性化定制。